等离子体处理与电晕处理机相似，不同之处在于，将气体注入电晕放电中会改变电晕等离子体的化学成分，从而改变与底物的反应。与钠蚀刻相比，等离子处理是一种不使用溶剂且不产生废物的干法工艺。由于设备要求和真空操作，这是一个复杂的过程。它也不能赋予常见的全氟聚合物PTFE强的粘合力。在1990年代，用于PTFE表面改性的等离子处理取得了进步。然而，经等离子体处理的PTFE的粘结强度多只能是钠蚀刻获得的粘结强度的百分之60。

电晕处理机可以在压下完成的方法。为了产生辉光放电，将一对缘涂层电晕以预定的距离放置在与进气管相连的室内。被物体在电晕之间移动，其中一个电晕连接到电源，而另一个电晕接地。例如，通过在氦气氛中进行辉光放电处理了几种含氟聚合物薄膜。使用在100°C下固化15 分钟的聚氨酯粘合剂，将处理过的膜和未处理的膜条粘结到0.2毫米厚的铝箔上分钟 样品的处理条件和粘结强度。